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沈天慧


[公元1923年-2011年,中国科学院院士]
  
沈天慧
  沈天慧,半导体化学家 1923年4月27日生于浙江嘉善,籍贯浙江杭州。1949年毕业于上海大同大学化工系。1957年至1959年赴苏联进修。上海交通大学教授。1980年当选为中国科学院学部委员(院士)。2011年1月2日逝世。
  参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺,研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,已制出直径为2mm的微马达。
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相关院校:

同年(公元1923年)出生的名人:
梁晓天 (19232009) 中国科学院院士 河南省漯河市舞阳县
吴全德 (19232005) 中国科学院院士 浙江省台州黄岩
吴式枢 (19232009) 中国科学院院士 江西省抚州市宜黄
李林 (19232002) 中国科学院院士 湖北省黄冈市
夏培肃 (19232014) 中国科学院院士 重庆市

同年(公元2011年)去世的名人:
施雅风 (19192011) 中国科学院院士 江苏省南通海门
罗沛霖 (19132011) 中国科学院院士,中国工程院院士 天津市河北区
王大珩 (19152011) 中国科学院院士,中国工程院院士 江苏省苏州
吴阶平 (19172011) 中国科学院院士,中国工程院院士 江苏省常州
李志坚 (19282011) 中国科学院院士 浙江省宁波
蒋民华 (19352011) 中国科学院院士 浙江省台州临海

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